臭氧機的主要殺菌因子：臭氧（O₃）。臭氧機出口處臭氧濃度250~280mg/L。殺菌因子滿足衛生部2002年版《消毒技術規范》要求

殺菌原理：臭氧具有很強的活性，利用氧化作用將微生物殺死，未反應的臭氧還原成氧氣，不存在任何有毒殘留物。臭氧的消毒機制及過程類屬于生物化學過程，氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。

    1、臭氧的消毒機制及過程屬于生物化學過程，氧化破壞微生物壁膜，使微生物產生代謝困難，或使細胞發生通透畸變，導致細胞溶解失活。

2、與微生物發生作用，破壞其細胞器和核糖核酸，使細菌的物質代謝和繁殖過程到破壞。

    3、與細菌、病毒的內部構成物質發生作用，分解生物酶，蛋白質和多糖等大分子物質，進而導致微生物失活。